趙晞文,女,漢族,中國電子科技集團公司第十三研究所半導體分立器件集成電路裝調工,高級技師。
趙晞文,女,漢族,中國電子科技集團公司第十三研究所半導體分立器件集成電路裝調工,高級技師。
主要事跡:
自 1984 年參加工作以來,趙晞文相繼從事芯片的精細光刻工藝和微波混合集成電路鍵合工藝工作;現(xiàn)為中國電子科技集團公司第十三研究所微波混合集成電路生產(chǎn)線鍵合工藝組組長。鍵合工藝是半導體、集成電路互連的關鍵工藝,是確保器件性能和可靠性的生命線,是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎工藝保證。參加工作 28 年來,作為軍工戰(zhàn)線上的一名普通技術工人,她熱愛本職工作,對工作認真負責,勤 奮學習、刻苦鉆研、狠練技能,攻克了一個又一個工藝難題,突破了一個又一個操作難關,參加了多項重點工程的配套產(chǎn)品的研制與生產(chǎn),撰寫了多部技術專著,已經(jīng)成為一名優(yōu)秀的工藝專家、技術能手。1997-2001年,在所內舉辦的三次工藝操作技能比武大賽中,她連連奪冠,每次都以第一名的好成績獲得操作技能優(yōu)秀標兵的榮譽稱號。由于技術過硬、工作業(yè)績突出,近年來,她榮獲了石家莊市“優(yōu)秀高級技師”、中國國防科工委、勞動和社會保障部授予的“國防科技工業(yè)技術能手”、中國郵電工會授予的“崗位創(chuàng)新能手”、中國人力資源和社會保障部授予的“全國技術能手”等一系列榮譽稱號,并獲得國務院頒發(fā)的“政府特殊津貼”。
一、刻苦鉆研技術,規(guī)范操作規(guī)程
半導體集成電路是國家重點發(fā)展產(chǎn)業(yè),鍵合工藝是半導體集成電路互聯(lián)的關鍵工藝,是確保器件性能和可靠性的生命線。趙晞文所在的十三所薄膜混合集成電路生產(chǎn)線是國內技術實力最強、生產(chǎn)規(guī)模最大、產(chǎn)品門類齊全并具有宇航配套能力的生產(chǎn)線,生產(chǎn)的集成電路主要用在我國的飛船、衛(wèi)星和導彈上。1999年以來,為提高工序能力,保證關鍵工序質量的穩(wěn)定性,所里先后引進了幾十臺國外先進設備,如何把這些先進設備用好,保證工藝線的暢通運行,提高工藝質量,是當時擺在工藝人員面前的一道難題。趙晞文查閱了國內外大量的專業(yè)技術資料,反復研讀國軍標規(guī)范,主動請教有關專業(yè)人員,并結合自己多年的工作經(jīng)驗多次進行試驗驗證,研究總結出一整套針對不同設備、器件、襯底的最佳工藝參數(shù)。將引進的幾十臺國外先進設備“馴服”,使它們發(fā)揮了最大作用。在此基礎上她認真總結工藝經(jīng)驗,編寫了上萬字的《工藝作業(yè)指導書》和《檢驗規(guī)范》,撰寫了《Si、GaAs管芯的鍵合技術及引線對器件性能的影響》和《金帶引線的鍵合技術》等論著;參與編制和審核了《十三所微波組件產(chǎn)品封蓋前檢驗規(guī)范》、《芯片評價組裝工藝操作指導》、《微波集成電路芯片生產(chǎn)與檢驗規(guī)范》等操作文件,對提升十三所的鍵合工藝水平,保證集成電路器件生產(chǎn)的可靠性、穩(wěn)定性起到了重要作用。
二、緊跟科技發(fā)展,推動工藝創(chuàng)新
隨著信息網(wǎng)絡、航空航天、高頻通訊的迅速發(fā)展,寬帶、高頻、小體積是微波集成電路和系統(tǒng)發(fā)展的趨勢。近年來十三所研發(fā)的多芯片、小型化、寬帶微波或毫米波的高端混合集成電路模塊,其特性要求給工藝帶來了一系列新的挑戰(zhàn)。按傳統(tǒng)的燒焊鏈接等工藝,不僅存在操作難度大效率低、不美觀,工藝不兼容等問題,且電路的高頻寬帶特性不易實現(xiàn),更主要的是由于互連材質不同,膨脹系數(shù)懸殊較大而導致焊料開裂,造成電路的失效存在重大質量隱患等等。趙晞文對工藝創(chuàng)新和產(chǎn)品性能提升進行了深入研究,她潛心查閱資料,結合產(chǎn)品和工藝的實際特點,反復試驗驗證,采用微縫焊與熱超聲焊相結合,獨創(chuàng)了同軸微帶過渡及側邊接地等工藝方法。此方法具有焊接面積小、易操作、與薄膜工藝兼容且可靠性高;具有在高頻下更低的寄生效應;在大功率應用中更低的電流密度可以通過更高的電流;以及在弧線很底的情況下保證鍵合弧線形狀的穩(wěn)定等優(yōu)點,使頻率覆蓋到毫米波頻段,值得自豪的是,這項工藝技術成功地應用于十三所研制的“神八”、“天宮”交會對接雷達接收機系統(tǒng)等多項國家重點工程中。 在日常工作中趙晞文堅持不斷積累工藝經(jīng)驗,摸索工藝訣竅,總結出許多在國內外都查不到的新方法,為新產(chǎn)品的開發(fā)與投入批產(chǎn)把好了工藝的質量關和成本關。在某低噪放產(chǎn)品的研制中,她采用獨特方法繞制的直徑只有幾十微米的金絲線圈替代平面螺旋薄膜電感,使產(chǎn)品性能在 S 波段損耗大大減小。在頻率 8GHz 以上的壓控振蕩器設計過程中,對于直徑 18 微米的細絲鍵合,及特殊芯片的微小壓點,細微的鍵合引線長度和弧度的差異就會造成頻率相差幾百兆赫茲,她通過改進工藝操作方法及優(yōu)化工藝條件,使工藝得到精確控制。這些方法不僅簡化了工藝流程、節(jié)約了大量的研發(fā)費用,還有效提高了產(chǎn)品的性能和批產(chǎn)能力。現(xiàn)在十三所每年生產(chǎn)用于國防重點工程的混合集成電路模塊 30 余萬塊,產(chǎn)品性能和外型均達到國內外同類產(chǎn)品先進水平,年創(chuàng)經(jīng)濟效益2億多元。
三、加強組織管理,發(fā)揮團隊力量
作為工藝組組長,趙晞文不僅勤鉆業(yè)務、刻苦不懈地提升自己的技能水平,而且絲毫不保守、積極自覺的發(fā)揮示范引領作用。她是“一花獨放不是春,百花齊放春滿園”。這些年來,她把帶好隊伍放到突出位置,不斷強化班組建設,培養(yǎng)了一批 30 多人、操作技能過硬的鍵合工藝技術隊伍。在管理工作中,她既強調“凡事都要盡心,凡事都要精心,不得有任何麻痹大意的思想”,又給大家明確分工、責任到人,并要求班組成員增強團隊意識,相互協(xié)作、互相幫助、相互督促。她不但幫助大家認真學習規(guī)范標準,更注重在實際工藝操作中傳幫帶。從操作手法到工藝參數(shù)的控制,再到設備的靈活熟練應用,她都手把手耐心細致地教大家。通過她的傳幫帶,現(xiàn)在鍵合工藝組的每一名員工都能做到人與設備融為一體,操作十分嫻熟。在所內多次舉辦的工藝技能比武大賽中,趙晞文所帶班組優(yōu)秀率為全所最高,并多次被評為優(yōu)秀班組。近年來,趙晞文班組出色完成了XXX可靠性增長工程 、武器裝備、載人航天、以及星用宇航配套產(chǎn)品多項國家重大項目的生產(chǎn)和科研攻關任務,被原信息產(chǎn)業(yè)部授予“質量信得過班組”稱號。
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